DJ MicroLaminates - 光刻胶干膜

产品简介

SUEX/SUEX Plus/ADEX干膜光刻胶

- 总处理时间：小于5分钟

- 卓越的厚度均匀性， 边缘无光刻胶堆积

- 高热稳定性-高韧性

- 无锑化学环境，无材料浪费

选择干膜的优势

- 无需昂贵的匀胶和烘胶设备

- 对Fab环境要求较低

- 整片晶圆上厚度均匀

- 无需去边工艺

- 100%平坦化（真空压膜）

- 胶膜内部成份分布均匀

- 适合UV和X射线曝光

- 高透过率

- 生产过程中减少了溶剂使用

- 绿色环保

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